薄膜材料及技术
（孙小卫）EEE50662023秋 2022秋 2021秋 2020秋2023秋 2022秋 2021秋 2020秋
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| 选课类别：专业任务 | 教学语言：英文 |
| 课程类别：专业核心课 | 开课单位：电子与电气工程系 |
| 课程层次：研究生 | 获得学分：3.0 |
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课程简介（教工部数据）
本课程旨在为电子科学与技术、及光学工程等领域的研究生讲授薄膜物理方面的理论知识、薄膜的主流制备技术和常见电子薄膜材料的研究背景及发展现状。本课程将各种薄膜制备技术涉及到的物理、化学与工程背景进行梳理，结合最新研究与技术研讨，有助于上述学科领域研究生掌握各种薄膜制备技术的原理及适用范围，并接触到薄膜科学与技术研究前沿，为开展进一步科研创新工作奠定理论及技术基础。
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