微纳结构加工
（何洪涛）PHY50312024秋 2023秋 2022秋 2021秋 2020秋 2019秋2024秋 2023秋 2022秋 2021秋 2020秋 2019秋
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| 选课类别：专业任务 | 教学语言：中文 |
| 课程类别：专业选修课 | 开课单位：物理系 |
| 课程层次：未知 | 获得学分：2.0 |
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课程简介（教工部数据）
课程主要介绍与微纳结构加工相关的基本工艺流程，包括紫外/电子束光刻工艺、湿/干腐蚀工艺、热处理工艺、薄膜生长技术、器件封装工艺等。该门课程包括理论介绍及实验操作两部分教学内容，预期学生在学完该课程后将能使用这些工艺根据实际的科研需求独立设计并制备微纳器件。
This course aims to systematically introduce the basic processes of microelectronic fabrication, including UV/e-beam lithography, wet/dry etching, thermal processing, thin film deposition, and device packaging. It consists of both theoretical lectures and experimental teaching. After completing this course successfully, students are expected to be able to apply what they have learned to design and fabricate micro/nano devices for the purpose of their scientific research.
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