微纳机电系统原理

(汪飞)SME3182024春 2023春  
2024春 2023春
10.0(2人评价)
  • 课程难度
    中等
  • 作业多少
    中等
  • 给分好坏
    一般
  • 收获大小
    很多
选课类别:专业任务 教学语言:英文
课程类别:专业必修课 开课单位:深港微电子学院
课程层次:未知 获得学分:3.0
课程主页:暂无(如果你知道,请点右上角“编辑课程信息”添加!)
课程简介(教工部数据)
本课程主要介绍典型微纳机电系统的传感器、执行器的运行原理、微纳机电系统设备的设计和制造工艺。除了介绍理论模型之外,这门课程还会着重考察微纳机电系统产品在电子、传感器、通信和生化医疗工程上的商业化应用。本课程涵盖的内容包括许多电子与机械传感机制(电容、压电、压组、电磁和电热)、微纳机电制造技术(硅衬底与表面微加工,平面薄膜处理,纳米材料合成与生长)。微纳机电器件的计算机辅助设计也将在课程介绍微机电系统的布局和多物理场仿真软件的时候使用到。


Micro electromechanical systems (MEMS) and Nano electro mechanical systems (NEMS) areemerging technologies with increasing applications in handheld devices andminiature distributed systems. This course introduces1) the operationprinciples of typical MEMS/NEMS transducers and sensors, and 2) the design andfabrication of MEMS/NEMS devices. In addition to theoretical modelling, thiscourse emphasizes on the exploration of commercially viable MEMS/NEMS productsfor applications in electronics, sensors, communications, and biomedicalengineering.
点评写点评
排序学期
评分评分2条点评
user avatar   XitongSUN     2024春
  • 难度:中等
  • 作业:中等
  • 给分:一般
  • 收获:很多

前半学期主要讲了MEMS领域基本的工作原理,包含电、热、压电、压阻、磁等MEMS原理,有一本内容十分适配的教科书,西北大学的liu chang教授的《Foudations of MEMS》,前面可能需要自己补充一些材料力学和工程力学的知识,内容都非常基础,停留在原理层面;后半学期讲了一些比较前沿的MEMS领域,包括组里目前的两个主要研究方向:MEMS气体传感器和能量采集,都是以了解为主。

平时作业是课后几道习题+看论文,论文介绍一些比较新颖的MEMS结构。

期中考试题量不大,考了其中一篇论文里结构的工作原理,问和简单压阻材料原理的区别,需要提前看论文,或者当场定位到哪一篇论文,现场看(考试开卷,可带电脑,不能联网)。其他的题目比作业略难,很多结构在slides和书上有原型,但是考的难度升级。

没有期末考试,期末需要交一篇英文论文,可以在很多个MEMS相关的topic中选一个,需要看10-20篇左右的论文,有查重。

实验课是做课题组的实验,都很简单很基础,5个实验基本2h内搞定,两个传感器相关,一个能量采集,一个喷墨打印,一个驻极体充放电,实验报告也不难写。

最后汪老师给分也不错,我的工艺实践和MEMS都上的汪老师的课,虽然任务量略大,但是收获很多。

欢迎对MEMS相关研究领域感兴趣的同学加入汪老师课题组!

user avatar   Kelvin     2024春
  • 难度:中等
  • 作业:中等
  • 给分:一般
  • 收获:很多

从22级开始之后这门课成为了专业核心课,但是因为这学期这门课和周菲迟老师的204冲突,所以没有几个22级的选这门课,21级可能经历过汪老师的305之后也没有人会选汪老师课作为选修课……所以两个班一共八个人,汪老师的班只有5个人。

理论课有期中考试没有期末考试,所以基本期中之后没怎么听过课了,最后几节课汪老师也基本是在介绍自己做的东西。汪老师的讲课水平毫无疑问在微电子学院绝对是TOP3,所以整体上起来很舒服。但是期中考试有点难,出的题比平时的作业难很多,还考了一篇论文(汪老师典型风格)。作业就是几道课后题加上读论文(不过一般没看过)。

实验课因为人少,前期是学习了Ledit软件和COSMOL软件的简单使用。之后汪老师精心安排了五个实验,我们可以去实验室做实验,比较有趣也比较轻松。之后的学期因为都是必修课,而且22级有100多人的大军,估计很难再每个人都上手做实验。

最后期末交一个大报告,用IEEE格式排版之后8-16页,要读一些论文才能搞定。

整体来说因为人少,和汪老师交流的也相对多一点,整体体验感比较不错。分数等待出了分之后再更新。

更新:其余专业课还没考完就登TIS了(

总评给我的A,感觉还挺不错的,汪老师也没有那么可怕。。。


teacher avatar

汪飞

深港微电子学院

教师主页

其他老师的「微纳机电系统原理」课

汪飞老师的其他课