先进半导体工艺实践
（于洪宇）SME3082024秋 2024春 2023秋 2023春 2022秋 2022春 2021秋2024秋 2024春 2023秋 2023春 2022秋 2022春 2021秋
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| 选课类别：专业任务 | 教学语言：双语 |
| 课程类别：专业选修课 | 开课单位：深港微电子学院 |
| 课程层次：未知 | 获得学分：3.0 |
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课程简介（教工部数据）
本课程讲解先进半导体工艺及制造技术，及先进半导体工艺技术背后的科学工艺过程的物理图像以及测量方法。例如版图设计方法，光刻机，感应耦合离子刻蚀机，低压气象沉积设备等的使用方法，及离子注入，化学物理沉积、薄膜分析等技术。并通过实验操作，让学生掌握先进半导体工艺技术，实现理论与实践的融合。
This lecture focuseson the basic features of advanced semiconductor technology, including theirdistinctions and common underlying principle. Such as: Layout, how to use thelithography equipment, ICP, LPCVD etc. and the technology of ion implantation,epitaxy, chemical vapour deposition, plasma, film analysis etc. Throughexperimental operation, students can master various practical abilities ofadvanced semiconductor technology, and realize the integration of theory andpractice.
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