集成电路工艺实践

（刘欢）EE320-152021春  
2021春
9.0(1人评价)
  • 课程难度
    简单
  • 作业多少
    很少
  • 给分好坏
    超好
  • 收获大小
    很多
选课类别：课内实验 教学语言：中文
课程类别：专业选修课 开课单位：电子与电气工程系
课程层次：本科 获得学分：3.0
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课程大纲PDF
课程信息（同学贡献数据）

 

周 次​

实验内容​

周 次​

实验内容​

1​

版图​

9​

光刻（套刻）​

2​

版图（EDA）​

10​

干法刻蚀（ICP）​

3​

LPCVD​

11​

快速热退火​

4​

光刻​

12​

工艺流程回顾与答疑​

5​

湿刻+椭偏仪​

13​

金属蒸镀​

6​

去胶&选片​

14​

四探针台​

7-8​

ALD+Sputter​

15​

环保指令&课程回顾​

最后更新：

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user avatar   Asma_Saunders     2021春
  • 难度：简单
  • 作业：很少
  • 给分：超好
  • 收获：很多

课程的主要内容是在超净间学习各种仪器的使用，期末会做一个电容。

由于超净间的容量问题，课程的名额比较少，可能连电子相关专业的学生都需要加课。。。

（最后修改于）00复制链接
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刘欢

深港微电子学院

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