集成电路材料与工艺 (崔德虎, 刘欢)SME50022023秋 2022秋 2021秋 2019秋  
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选课类别:专业任务 教学语言:英文
课程类别:专业核心课 开课单位:深港微电子学院
课程层次:研究生 获得学分:3.0
课程主页:暂无(如果你知道,请点右上角“编辑课程信息”添加!)
课程简介(教工部数据)
课程介绍硅超大规模集成电路芯片生产制造相关的实际工艺技术,讲解这些工艺技术背后的科学工艺过程的物理图像 以及测量方法。包括CMOS 工艺技术,光刻,刻蚀,薄膜沉积,真空技术,离子注入,化学物理沉积,等离子体技术,薄膜分析等。


This lecture focuses on the basic features of the silicon integrated circuits manufacture, including their distinctions and common underlying principle. Such as: CMOS Technology, lithography, etching, various deposition techniques, vacuum technology, evaporation, ion implantation, epitaxy, chemical vapour deposition, plasma, film analysis.
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