周 次​

实验内容​

周 次​

实验内容​

1​

版图​

9​

光刻（套刻）​

2​

版图（EDA）​

10​

干法刻蚀（ICP）​

3​

LPCVD​

11​

快速热退火​

4​

光刻​

12​

工艺流程回顾与答疑​

5​

湿刻+椭偏仪​

13​

金属蒸镀​

6​

去胶&选片​

14​

四探针台​

7-8​

ALD+Sputter​

15​

环保指令&课程回顾​