超大规模集成电路工艺原理 (蒋苓利)SME3052024春 2023秋 2022秋 2021秋  
2024春 2023秋 2022秋 2021秋
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选课类别:课内实验 教学语言:双语
课程类别:专业核心课 开课单位:深港微电子学院
课程层次:本科 获得学分:3.0
课程主页:暂无(如果你知道,请点右上角“编辑课程信息”添加!)
课程简介(教工部数据)
本课程帮助学生了解建立先进半导体集成电路前段和末端工艺技术。通过讨论书中的基本原理,扩增参考文献等,加强对每一个方向问题的理解。在上课时让学生用学到的知识去解决现实试验中出现的种种问题。通过本节课知识点的理解学生将充分了解每一个制造工艺的优点和局限性。目的希望学生能够真正独立设计器件,并能够在实际生产试验中发现解决问题。


This course helpsstudents establish a basic understanding of the front- and back-end processingin modern VLSI technology. The lectures discuss the fundamentals; the textbookand reference materials provide amplification, as well as direction for furtherexploration; and the problems and projects enhance topic understanding, andallow students to apply the knowledge gained from lectures and texts to solvepractical problems. The knowledge acquired in this course will allow thestudent to understand the advantages and constrains of each fabricationtechnology. Students will be able to design practical fabrication strategiesand trouble-shoot manufacturing problems for various types of semiconductordevices.
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蒋苓利

深港微电子学院

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