微纳机电系统原理
（曾玉强）SME3182024春2024春
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| 选课类别：专业任务 | 教学语言：双语 |
| 课程类别：专业必修课 | 开课单位：深港微电子学院 |
| 课程层次：未知 | 获得学分：3.0 |
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课程简介（教工部数据）
本课程主要介绍典型微纳机电系统的传感器、执行器的运行原理、微纳机电系统设备的设计和制造工艺。除了介绍理论模型之外，这门课程还会着重考察微纳机电系统产品在电子、传感器、通信和生化医疗工程上的商业化应用。本课程涵盖的内容包括许多电子与机械传感机制（电容、压电、压组、电磁和电热）、微纳机电制造技术（硅衬底与表面微加工，平面薄膜处理，纳米材料合成与生长）。微纳机电器件的计算机辅助设计也将在课程介绍微机电系统的布局和多物理场仿真软件的时候使用到。
Micro electromechanical systems (MEMS) and Nano electro mechanical systems (NEMS) areemerging technologies with increasing applications in handheld devices andminiature distributed systems. This course introduces1) the operationprinciples of typical MEMS/NEMS transducers and sensors, and 2) the design andfabrication of MEMS/NEMS devices. In addition to theoretical modelling, thiscourse emphasizes on the exploration of commercially viable MEMS/NEMS productsfor applications in electronics, sensors, communications, and biomedicalengineering.
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