集成电路材料与工艺

（崔德虎）SME50022024秋  
2024秋
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选课类别：专业任务 教学语言：英文
课程类别：专业核心课 开课单位：深港微电子学院
课程层次：未知 获得学分：3.0
课程主页：暂无（如果你知道，请点右上角“编辑课程信息”添加！）
课程大纲PDF
课程简介（教工部数据）
课程介绍硅超大规模集成电路芯片生产制造相关的实际工艺技术，讲解这些工艺技术背后的科学工艺过程的物理图像 以及测量方法。包括CMOS 工艺技术，光刻，刻蚀，薄膜沉积，真空技术，离子注入，化学物理沉积，等离子体技术，薄膜分析等。


This lecture focuses on the basic features of the silicon integrated circuits manufacture， including their distinctions and common underlying principle. Such as: CMOS Technology, lithography, etching, various deposition techniques, vacuum technology, evaporation, ion implantation, epitaxy, chemical vapour deposition, plasma, film analysis.
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崔德虎

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